一、功能描述： 

 1.可用于沉积金刚石涂层厚膜，直径200毫米的基片上厚度可达到毫米级；     

 2.可用于沉积刀具涂层，例：纳米涂层、DLC等；     

 3.可用于沉积模具涂层，例：拉丝模、紧压模等；     

 4.可用于开发导电涂层应用，例：防腐蚀电极等；     

 5.可提供成套热丝化学气相沉积生长金刚石设备烧丝工艺及厚膜生长基本工艺支持。 

 二、技术性能指标：