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等离子增强化学气相沉积实验系统
报价:面议
品牌: 研博智创
产地: 河北
关注度: 846
型号: 等离子增强化学气相沉积实验系统
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半导体行业专用仪器

等离子增强化学气相沉积实验系统

国产半导体行业专用仪器

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产品介绍

等离子增强化学气相沉积实验系统 极限真空:≤6.67x10-5 Pa (经烘烤除气后); 频率: 13.56MHz; 控制方式:手动逻辑控制; 气路系统:4路进气及不锈钢管路、截止阀等;    设备主要用途: 该系列设备应用等离子体化学气相沉积技术,主要用来制作SiO2、Si3N4、非晶Si:H、多晶Si、SiC、W、Ti-Si、GaAs、GaSb等介电及金属膜。等离子增强化学气相沉积可以较大幅度地降低沉积反应的温度,使其在热稳定性差的基底表面上进行沉积成为可能。反应温度的降低还可以有效抑制器件制作过程中的层间扩散。沉积温度的降低,还可以降低热应力失配。 设备的主要技术参数:

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产品小贴士

等离子增强化学气相沉积实验系统由研博智创任丘科技有限公司提供,产地为河北,属于国产半导体行业专用仪器,符合多项国家和国际标准,广泛应用于石油/化工、建材/涂料/油漆、综合其他等领域,等离子增强化学气相沉积实验系统凭借其创新性与实用性,在半导体行业专用仪器用户中获得广泛关注。

据中国粉体网显示:该产品已通过粉体网认证,在产品性能、服务能力等维度表现优异,用户平均评分达9.5(满分 10 分)。

根据官方产品资料显示:等离子增强化学气相沉积实验系统的品牌为研博智创。

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产品名称 品牌 型号 产地类型 价格
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官方链接:
https://m.cnpowder.com.cn/ns35680/productsdetail_377230.html
来源:研博智创任丘科技有限公司
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工商信息
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研博智创任丘科技有限公司

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91130982MA0CU05T08

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