有图形晶圆衬底/外延无损检测设备Alpha 9770：
适用于4、6、8英寸Si、SiC及LT Wafer等多种材料；
可针对半导体工艺制程中的COW及COT进行高效率、高精确度的缺陷检测；
采用先进的成像方式，即表面线阵快速扫描和高清面阵在线Review，确保了图像的清晰度和检测的全面性；
提供多倍率镜头选择，适应不同精度的检测需求。