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OpenLight 科研级晶圆缺陷检测平台
报价:面议
品牌: 清软微视
产地: 浙江
关注度: 9
型号: OpenLight 科研级晶圆缺陷检测平台
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产品介绍

OpenLight 是面向高校和科研院所,应用于裸片、晶圆、芯片、器件等半导体各制程段产品的显微观测,是 AOI 算法、工艺验证、光学实验等应用的研发利器
OpenLight 采用自主设计的超高速、大视野、高解析度的成像系统,集合无限远光学系统主镜筒、大功率全视野均匀照明系统、明场/暗场/DIC 多观察方式、实时/拟合对焦系统等部分,提供稳定显微成像方案;运动系统使用大理石基台配合独立隔振器,保证高速运动下稳定,消除对成像及检测的干扰



主要技术参数:

项目内容
晶圆尺寸4" / 6" / 8" / 12"
检测相机线阵:4k 128 线 TDI
Review 相机面阵:彩色 1200 万像素
镜头2X / 5X / 10X / 20X
照明方式高亮点光源反射式照明
对焦方式硬件实时主动对焦
运动行程X轴/Y轴/Z轴:350/400/50mm
整体尺寸1300mm * 900mm * 1600mm


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清软微视(杭州)科技有限公司

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