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晶圆表面及边缘检测设备-SEDI
报价:面议
品牌: 芯晖装备
产地: 浙江
关注度: 12
型号: 晶圆表面及边缘检测设备-SEDI
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产品介绍
产品型号

晶圆表面及边缘检测设备-SEDI

应用场景

清洗、成型、抛光

检测缺陷

Particle、划伤、崩边、裂纹、Cloud、Pit、边缘缺陷

Particle:0.2μm;边缘1.25μm;Scratch:

检测精度

100um × 0.1um;Cloud:400μm ×400μm

产能85 WPH@300mm
产品特点微粒检测、缺陷分布、不良分类、ADC
晶圆直径Ф6″、Ф8″、Ф12″(尺寸可定制)
产品型号

晶圆表面及边缘检测设备-SEDI

应用场景

清洗、成型、抛光

检测缺陷

Particle、划伤、崩边、裂纹、Cloud、Pit、边缘缺陷

Particle:0.2μm;边缘1.25μm;Scratch:

检测精度

100um × 0.1um;Cloud:400μm ×400μm

产能85 WPH@300mm
产品特点微粒检测、缺陷分布、不良分类、ADC
晶圆直径Ф6″、Ф8″、Ф12″(尺寸可定制)


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浙江芯晖装备技术有限公司

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