晶圆边缘检测设备-EDI 产品中心

浙江芯晖装备技术有限公司

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产品详情

芯晖装备

晶圆边缘检测设备-EDI

参考报价：电议
型号：晶圆边缘检测设备-EDI

产地：浙江
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详细介绍：

产品型号	晶圆边缘检测设备-EDI
应用场景	成型、抛光
检测缺陷	崩边、裂纹、划伤等边缘缺陷
检测精度	边缘：1.25μm
产能	85 WPH@300mm
产品特点	缺陷分布、不良分类、ADC
晶圆直径	Ф6″、Ф8″、Ф12″（尺寸可定制）

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