产品型号
晶圆隐裂外观检测设备-ADS
应用场景
成型、抛光
检测缺陷
隐裂、崩边、划伤、线痕、化学脏污
检测精度
隐裂：30μm、正反面：20um；
产能
185 WPH@300mm
产品特点
隐裂检、高产能、低过检、ADC
晶圆种类
Ф6″、Ф8″、Ф12″（尺寸可定制）
适用于成型、抛光工艺段，应用明场及红外检测原理进行无图形晶圆的正反面及内部无法肉眼观测的隐裂缺陷检测，具备崩边、划伤、线痕、化学脏污、隐裂等微小缺陷的检出能力
