200mm硅片抛光设备产品中心

产品详情

详细介绍：

基本规格	尺寸： 2.8 米（长）x1.2 米（宽）x2.2 米（高）重量：4.5 吨
设备构成	研削主轴（2sets）清洗干燥单元背面清洗单元搬送单元（Robot）
**加工尺寸	φ 200mm
加工方式	干进，干出