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第三代半导体材料减薄设备
报价:面议
品牌: 芯晖装备
产地: 浙江
关注度: 10
型号: 第三代半导体材料减薄设备
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产品介绍

技术参数


基本规格

· 尺寸: 2.99 米(长)x1.42 米(宽)x1.98 米(高

· 重量:8 吨

设备构成

· Loading Port(2sets)

· 刚性主轴(2sets)

· Chuck table(3sets)

· 背膜清洗单元

· 搬送单元(Robot)

**加工尺寸

· φ 200mm(同时兼容4”、6”、8”)

加工方式

· 干进,干出

加工能力

· 同时高效加工2 片

生产能力

· ≥ 6 wafers /h


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工商信息
企业名称

浙江芯晖装备技术有限公司

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