深圳市博创新半导体装备有限公司
  • 博创新
    参考报价:电议
    型号:气浮转台
    产地:广东
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  • 详细介绍:


    Machine features

    • 该产品具有承载大、径向和轴向刚度高、角刚度好、高度低的特点;同时由于其隔尘设计,更加适应生产加工环境。是各种高精度测量、光学测量组装加工、芯片半导体测量加工、全物理仿真模拟设备等行业的**选择。

    Technical Parameter

    项目AB-30AB-50RAB-50AB-80AB-100
    径向刚度(N/μm)12.724.54934.355.9
    径向度常用负载(N)25.4499868.6111.8
    径向刚度极限负载(N/μm)31.861.3122.585.8139.8
    轴向刚度(N/μm)19.635.335.3205.8323.4
    轴向刚度常用负载(N)39.270.670.6411.6646.8
    轴向刚度极限负载(N)49.088.288.2514.5808.5
    径向旋转精度(μm)0.070.050.050.050.05
    轴向旋转精度(μm)0.040.030.030.030.03
    极限旋转转速(rpm)3000020000220001500010000
    空气消耗量(NI/min)4612810
    惯性力矩(kg•㎡)1.23×10.51.92×10.42.47×10.41.32×10.34.85×10.3
    质量(kg)0.31.52.33.98.5
    项目AB-150AB-200AB-250AB-300
    (受注生产)
    AB-400
    (受注生产)
    AB-600
    (受注生产)
    径向刚度(N/μm)98166.6205.8392333.2392
    径向度常用负载(N)196333.2411.6784666.4784
    径向刚度极限负载(N/μm)245.0416.5514.5980.0833.0980.0
    轴向刚度(N/μm)558.6705.611761234.81705.22400
    轴向刚度常用负载(N)111714112352247034109800
    轴向刚度极限负载(N)13971764294030874263-
    径向旋转精度(μm)0.050.050.050.050.090.05
    轴向旋转精度(μm)0.030.030.030.050.050.05
    极限旋转转速(rpm)5000300025001500500120
    空气消耗量(NI/min)1520354040100
    惯性力矩(kg•㎡)2.98×10.26.00×10.22.77×10.16.3×10.11.30-
    质量(kg)223977110153580