设备配置说明：

设备电机等部位增加保护罩，门检interlock等；

设备内部操作区设置三防灯，方便观察；

设备设置亚克力透明材料观察窗口，及门开关处理。

MES 连接，自动上报

space  chart 系统自动生成

量测精度达0.1um  

所有外壳材质选用SUS316，满足无尘室用料；

所有进水管材质选用PFA，出水管材质选用SUS316，衔接处做除尘处理；

设备内电机和气缸选用高防水防尘型号（IP65）；

摆动电机部位增加保护罩，防止水溅落上及particle 。