设备配置：

超声波震动仪2台

气枪2只，水枪2只

触摸屏1个（含PLC控制）

液位sensor 3个及漏液检测sensor1对

设备功能：

可处理wafer破片之后的FOUP

可作为FOUP 或parts 辅助量测设备

可作为FAB内各种parts 清洗机

定期的Auto cleaner monitor FOUP

产能可根据要求设计制作