AltraPure® Giga 系列在线式气体过滤器，是专为过滤精度≥3nm（0.003µm）的高流量电子气体过滤应用进行的设计，过滤器适用**工艺流量达3000slpm。

过滤器有 PTFE内芯组件 & 全氟内芯组件 两个系列，具有优秀的化学兼容性，适用与多数类型的半导体制程工艺气体和大宗气体。