1 年

高级会员

已认证

自动晶圆减薄机
报价:面议
品牌:
产地: 浙江
关注度: 34
型号: ZM9230
展位推荐
更多  
产品介绍

设备介绍

单轴单工位的结构设计

可适用大部分的晶圆加工要求,兼顾整面磨削和留边磨削




产品详情

主要参数


规格

单位

技术指标

工件直径

mm

Ø150 / Ø300

磨削方式


整面磨削 / 留边磨削

金刚石砂轮(兼容DISCO砂轮)

mm

Ø300

砂轮轴数量


1

砂轮轴功率

kW

7.5

砂轮轴转速

r/min

1000~4000

Z轴行程

mm

120

Z轴磨削进给速度

mm/s

0.0001~0.08

Z轴*小进给量

µm

0.1

硅片厚度测量范围

µm

0~1800

厚度测量分辨率

µm

0.1

夹持方式


多孔真空吸盘

工件轴数量


1

工件轴转速

r/min

10~300

磨削后TTV

µm

1.5

磨削后片间厚度偏差

µm

±3

精磨后表面粗糙度

Ra

10nm

外形尺寸(W × D × H)

mm

850×1760×1900

整机净重

kg

2200


问商家
相关产品
更多  
Lens外观全检设备

型号: 自动化光学检测设备

面议
碳化硅衬底激光剥离系统

型号: 衬底激光剥离

面议
Lens外观全检设备

型号: 自动化光学检测设备

面议
碳化硅衬底激光剥离系统

型号: 衬底激光剥离

面议
推荐产品 供应产品
宁波丞达精机股份有限公司为您提供自动晶圆减薄机,自动晶圆减薄机产地为浙江,属于半导体行业专用仪器,除了自动晶圆减薄机的参数、价格、型号、原理等信息外,还可为您提供碳化硅衬底激光剥离系统、Lens外观全检设备。
工商信息
企业名称

宁波丞达精机股份有限公司

企业类型

信用代码

法人代表

注册地址

成立日期

注册资本

有效期限

经营范围

分类

留言咨询

留言类型

需求简述

联系信息

联系人

单位名称

电子邮箱

手机号

图形验证码

点击提交代表您同意《用户服务协议》《隐私协议》