抛光头可实现3 zone压力控制

全系列机型可加工2-8寸及异形晶圆

纳米级别移除精度

抛光粗糙度、速率、一致性行业**

具备精准的光学EPD终点检测功能

抛光头压力可调制高达12psi

可编辑和储存至少100条以上工艺菜单

可实现盘温监控、自动冷却、自动冲洗