U315 是 SGSSEMI 国产自研 AOI（Automation Optical Inspection, 自动光学检测） 量检测设备,可用于表面缺陷检测。U315 采用明场与暗场相结合的光学架构，既能检测硅基不透明材质,又能检测第三代半导体、玻璃等透明材质。在算法端，U315 应用现代 AI 缺陷分类配合传统经典算法，实现晶圆缺陷精准捕捉。