12吋快速热处理设备 RTP-XPEED-IDP
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品牌: 盛吉盛
产地: 浙江
关注度: 30
型号: 12吋快速热处理设备 RTP-XPEED-IDP
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产品介绍

低压ISSG设备因其超高的薄膜质量及1/100 纳米的膜厚控制精度广泛应用于40、28nm以及28nm以下栅极氧化物和浅槽隔离 liner的生长;解耦等离子体氮化及退火工艺可以降低栅极漏电密度并改善NBTI特性,也在先进的逻辑和存储技术前道工艺中得到应用。

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盛吉盛(宁波)半导体科技有限公司为您提供盛吉盛12吋快速热处理设备 RTP-XPEED-IDP,12吋快速热处理设备 RTP-XPEED-IDP产地为浙江,属于半导体行业专用仪器,除了12吋快速热处理设备 RTP-XPEED-IDP的参数、价格、型号、原理等信息外,还可为您提供12吋薄膜沉积设备 PECVD-ZARVIS、U380S 系列缺陷检测设备、缺陷检测设备 U315 系列。
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盛吉盛(宁波)半导体科技有限公司

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