A5-SR系列显微式反射式膜厚测量仪可用于测量半导体镀膜。具体包括但不限于氧化硅，氮化硅，多晶硅，PI，光刻胶等透明半透明的材料，测量范围在20纳米到30微米。光斑小于40微米。A5-SR系列可根据客户给出的Die分布图和标记，对整个硅片进行自动寻找，自动测量。