特点
● 良好的蜡层均匀性
- 提供良好的蜡层均匀性（蜡层厚度低于1um）
● 自动工位搬运功能
- 高加工节拍
- 减少等待时间（预加热功能）
● 晶片搬运（机器人）
- 自检测取片爪状态
- 对于薄片加工效果**

● FFU过滤器
- 提供正压工作条件
● 精准滴蜡装置
- 节省运行成本（分配精准的滴蜡量）

规格