产品特点

干进干出

有支持大批量生产的多样辅助设备

优越的工艺性能

研磨终点检出监视器(可选)

在线膜厚测定仪(可选)

灵活对应各用户的特殊规格要求

3段洗净(包括化学洗净)对应方式