Bhadra™立式高温氧化炉HBO150

功能

1.高温氧化工艺

2.DCE清洗去除可动离子作用和中高温退火工艺

技术参数

适配晶圆尺寸：4，6寸

适用衬底材料：碳化硅

适用领域：功率半导体、衬底材料、科研