流体轴承 全机型标准装备

磨盘平面维持机制

三向式 BN 系列

创新型上磨盘不旋转的研磨机。通过钢丝悬挂上磨盘，提升了对下磨盘的追随性，显著提高良率，实现量产中的成本优化。

单面研磨 / 抛光机 HS 系列

沿用双面研磨机的技术积累，标准搭载专为单面研磨机开发的流体轴承，即使仅使用单个研磨环也能实现稳定加工。