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INSPECTRA光学式半导体晶圆检测设备  
报价:面议
品牌:
产地: 日本
关注度: 20
型号: INSPECTRA
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产品介绍

光学系统阵容多样:可提供 BF(明场)/DF(暗场)/DIC(微分干涉对比)/ 特殊光学系统。

检测工具:具备 AI-ADC 功能、多种数据输入 / 输出接口、检测结果分析系统及配方共享功能。

特殊晶圆适配:支持薄晶圆 / 翘曲晶圆检测,可适配面板检测。

类型:硅晶圆、化合物晶圆、玻璃等

目标缺陷尺寸:>0.5 微米

检测 throughput(产能):>200 片 / 小时



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