光学系统阵容多样：可提供 BF（明场）/DF（暗场）/DIC（微分干涉对比）/ 特殊光学系统。

检测工具：具备 AI-ADC 功能、多种数据输入 / 输出接口、检测结果分析系统及配方共享功能。

特殊晶圆适配：支持薄晶圆 / 翘曲晶圆检测，可适配面板检测。

类型：硅晶圆、化合物晶圆、玻璃等

目标缺陷尺寸：>0.5 微米

检测 throughput（产能）：>200 片 / 小时