产品特点

SiC晶圆薄化砂轮

性能参数

4&6inch sic晶圆的减薄加工

使用#2000DV 的砂轮对486inch SiC进行粗磨加工，使用#30000DV砂轮进行精磨加工

#30000DV减薄加工后晶圆表面(Zyg0公司白光干涉仪 NewView8200)