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冈本OKAMOTO半自动CMP化学机械抛光机

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品牌：
产地：	日本
关注度：	36
型号：	SPP800S

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冈本OKAMOTO 全自动抛光机

冈本OKAMOTO超精密半自动减薄机

SiC晶圆薄化砂轮

产品介绍

SPP800S 是半自动通用抛光型设备，不仅可以处理氧化层和金属膜，而且可以去除晶圆表面损伤层。该机型装备有两个抛光头和一个定盘修正头，可实现高的吞吐量。它具有独特的软件和触摸屏，使用操作方便。

产品特点

性能参数

项目	参数
加工材料	硅晶片、电子部品、脆性材料
适用晶圆尺寸	3 - 8 英寸
设备尺寸	1380 (W) x 1210 (D)* x 1873 (H)
厂务条件	10KVA, 200V, 3 Phase, 50/60 Hz
压缩空气压力	≧5.0 Kg/cm?
去离子水压力	1.0-1.5Kg/cm?
去离子水流量	5 升/分钟
排气量	3m?/分钟
冷却水（真空泵用）	压力：2.0Kg/cm?
流量	大于3 升/分钟
冷却水（抛光定盘冷却系统用）	2.0Kg/cm?
流量	大于3 升/分钟

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