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冈本OKAMOTO 全自动抛光机
报价:面议
品牌:
产地: 日本
关注度: 39
型号: PNX332B
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产品介绍

PNX332B 是全自动通用抛光型设备,不仅可以处理氧化层和金属膜,而且可以去除晶圆表面损伤层。该机型搭载有8个抛光头,3个抛光台,同时可以对6片晶圆进行抛光,同时搭载3个抛光液料桶,分别给每个抛光台提供抛光液,每个抛光台可以根据客户需求进行粗抛或者精抛,每个抛光台都配有抛光液和纯水的管路,可以自动切换纯水或者抛光液。该机型在全球12寸硅片衬底的抛光占有率达到80%以上,今后也会将会在8寸碳化硅衬底的全自动抛光做出应有贡献!

PNX332B 是全自动通用抛光型设备,不仅可以处理氧化层和金属膜,而且可以去除晶圆表面损伤层。该机型搭载有8个抛光头,3个抛光台,同时可以对6片晶圆进行抛光,同时搭载3个抛光液料桶,分别给每个抛光台提供抛光液,每个抛光台可以根据客户需求进行粗抛或者精抛,每个抛光台都配有抛光液和纯水的管路,可以自动切换纯水或者抛光液。该机型在全球12寸硅片衬底的抛光占有率达到80%以上,今后也会将会在8寸碳化硅衬底的全自动抛光做出应有贡献!


性能参数

规格
PNX332B
设备尺寸(W×D×H)mm2440×3260×2200
抛投数量-6枚
加工材料-硅、Sic碳化硅晶片
**加工尺寸mmφ300


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一桥半导体科技(苏州)有限公司

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