工艺介绍：

（1）通过物理和化学吸附方式脱除O2、CO、CO2、H2O、H2等杂质。

（2）吸附反应器吸附饱和后可通氢加热再生，反复使用。

（3）多柱交替吸附、再生，可连续供气。

应用领域：

集成电路制造行业

半导体、LED、激光、太阳能光伏行业

气体行业