纯化指标表
气体类别
可纯化气体
去除杂质
纯化指标
D-惰性气体
N2、Ar、He、Ne、Kr
H₂O、02、CO、CO2、H₂、NMHC
<1ppm
Y-氧气
O₂XCDA
H₂O、CO₂、NMHC
Q-氢气
H₂
H₂O、0₂、CO、CO₂、NMHC
