典型应用
化工行业、硅片产业、 LED、激光、航空航天业，光纤产业
工艺介绍
1、气体通过催化和吸附工序，深度脱除气体中的0₂、H₂O、CO₂、CO、H2 、THC等杂质。
2、吸附柱吸附饱和后可加热再生、反复使用。
纯化指标表
气体类别
可纯化气体
去除杂质
纯化指标
D-惰性气体
N₂、Ar、He、Ne、Kr
H₂0、0₂、CO、CO₂、H₂、THC
<10ppb
Y-氧气
O₂
H₂O、CO₂、CO、H₂、THC
Q-氢气
H₂
H₂O、0₂、CO、CO₂、THC
