博磊精密设备(苏州)有限公司
  • 博磊精密
    参考报价:电议
    型号:全自动双轴晶圆切割-TS861
    产地:江苏
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  • 详细介绍:


    抑制微粒粉尘的选项

    • 切割部二流体喷嘴。

    • Spinner部二流体喷嘴。

    • 工作盘水帘来防止因微粒干燥所引起的硬化。

    • 强抽风管(主轴)。

    标配功能

    • 自动刀痕校正(Auto Kerf Check)。

    • 非接触式刀高测量(NCS,Non-Contact Setup)。

    • 刀片断裂检测(Blade Broken Detector)。

    • 二流体喷嘴。

    规格

    单位

    TS861

    (1.2/1.8/2.4Kw)

    **工作范围

    mm

    Φ200/Φ150

    X-axis

    Cutting range

    mm

    210/160

    Cutting speed

    mm/sec

    0.1-1,000

     

    Y1、Y2-axis

    Cutting range

    mm

    210

    Index step

    mm

    0.0001

    Index positioning accuracy

    mm

    0.003/210

    mm

    0.002/5(Single error)

     

    Z-axis

    Max. stroke

    mm

    14.2(Forφ2”blade)

    Moving resolution

    mm

    0.0000003(24bit)

    Repeatability accuracy

    mm

    0.001

    ϴ-axis

    Max. rotating angle

    deg

    380

    Spindle

    Rated torque

    N.m

    0.27

    Revolution speed range

    rpm

    6,000-60,000

    Machine dimensions (W x D x H)

    mm

    1,250 x 1,600 x 1,890

    Machine weight

    kg

    2,000