博磊精密设备(苏州)有限公司
  • 博磊精密
    参考报价:电议
    型号:全自动双轴晶圆切割机-TS1261
    产地:江苏
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  • 详细介绍:


    直观式的操作辅助操作者

    通过LCD触控面板,可以在使用显微镜画面的同时进行校准和教学等操作。此外,通过机台状态的图表和MTBA(机台平均停机处理时间)的显示,操作人员可以以图像化的方式了解机台的运行状况。在发生异常时,屏幕上会提供处理指示,辅助进行故障排除操作。

    抑制微粒粉尘的选项

    切割部分的二流体喷嘴。

    旋转部分的二流体喷嘴。

    工作盘的水帘,防止微粒干燥导致硬化。

    强抽风管(主轴)。

    保养区域的缩减

    所有的日常操作和保养都可以从正面进行。当需要并排放置多台机台时,由于减少了侧面的维护空间,相比之前的TS1260型号,现在可以放置6台TS1261型号的机台,而不是只能放置4台。

    工作物切割加工流程

    夹具将工作物从储料盒中取出,送到预校准台。

    在预校准台进行中心定位后,下臂将工作物移到工作盘。

    进行切割加工。

    上臂将工作物移到离心清洗台。

    进行清洗和干燥。

    下臂将工作物送到预校准台。

    夹具将工作物送回储料盒中。

    标配功能

    自动刀痕校正(Auto Kerf Check)。

    非接触式刀高测量(NCS,Non-Contact Setup)。

    刀片断裂检测(Blade Broken Detector)。

    二流体喷嘴。

    选配功能

    硬件:在线磨刀(ln-line Dressing),微尘加强清洁(Class 100),激光刀痕对准(Laser Kerf Alignment,特殊CCD),CO2机(外挂),药液混合设备(外挂)。

    软件:激光刀痕对准(Laser Kerf Alignment),SECS/GEM,其他定制化软件功能。

    规格

    单位

    TS1261

    (1.2/1.8/2.4Kw)

    **工作范围

    mm

    Φ300/Φ200

    X-axis

    Cutting range

    mm

    310/210

    Cutting speed

    mm/sec

    0.1-1,000

     

    Y1、Y2-axis

    Cutting range

    mm

    310

    Index step

    mm

    0.0001

    Index positioning accuracy

    mm

    0.003/310

    mm

    0.002/5(Single error)

     

    Z-axis

    Max. stroke

    mm

    14.2(Forφ2”blade)

    Moving resolution

    mm

    0.0000003(24bit)

    Repeatability accuracy

    mm

    0.001

    ϴ-axis

    Max. rotating angle

    deg

    380

    Spindle

    Rated torque

    N.m

    0.27

    Revolution speed range

    rpm

    6,000-60,000

    Machine dimensions (W x D x H)

    mm

    1,250 x 1,600 x 1,890

    Machine weight

    kg

    2,150