江苏优普纳科技有限公司
  • 参考报价:电议
    型号:CMG3200
    产地:江苏
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  • 详细介绍:


    全自动高刚性双轴减薄机是一款集成清洗干燥、精密测量、自动装夹与智能磨削于一体的自动化设备。主要用于对半导体、光学材料、陶瓷以及硬脆材料进行减薄加工。该设备结合了自动化技术和高刚性磨削系统,旨在提升生产效率和加工质量,以满足智能制造的高要求、高效率、高稳定。


    项目技术参数
    主要加工材料       SiC、Si等硬脆材料     
    加工晶圆尺寸6/8英寸
    砂轮直径254mm
    磨削主轴转速4000rpm
    磨削主轴功率       8.5KW   
    片内厚度偏差TTV2μm
    片间厚度偏差WTW3μm
    表面粗糙度Ra2nm
    占地面积L2000*W500*H2480
    重量约6000KG