技术特点：

●  自动运行，干进干出

●  设备占地面积小

●  去离子水减少高达80% 

●  工艺介质减少高达80%

●  封闭式系统

●  可柔性多腔室组合

设备用途：

●  显像工艺

●  刻蚀工艺

●  清洗工艺

●  剥离工艺

●  可选配O3清洗