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日本 INTECS UIH-1(H) 超高亮度卤素检查灯 抛光晶圆雾度专项场景
INTECS UIH-1(H)是面向目视检查工序的超高亮度卤素照明装置，由INTECS Co., Ltd.在日本千叶制造，整机分为灯箱与电源部两段式结构，灯箱高度、角度与照射径可自由调节。在抛光晶圆雾度检查场景中，UIH-1(H)为系列内的专项机型，照射面投影三条检查标记，操作人员依据标记对比度判断晶圆表面雾度分布，把依赖个人经验的观感判断转化为可见的对照依据。
除雾度专项判定外，该类光源的典型应用场景覆盖半导体晶圆、掩膜玻璃与光学元件检查：不透明镜面体场景下，斜向投射光线，使表面浮起的尘粒与划痕进入视野；斜光反射至周边墙面或天花板投影，用于观察表面伤痕与内部微小气泡；玻璃等透明材料可垂直或斜向照明，同时观测两面与内部缺陷；室内透射光可用于浮尘检测，透明容器内混合物混合状态与化学反应现象也可借助该光源观察。
UIH-1(H)采用特制高亮度卤素灯，灯额定值15V 150W，最高辉度寿命50小时以上，半辉度寿命800小时以上；配φ50mm抛物线形冷反射镜，设计照射径φ40mm对应距离180mm，1H型以成像为重采用F2口径透镜；调光采用SCR相位控制，亮度可变幅度10:1以上，强制空冷散热，电源部为自立式支架结构，整机合计约7kg。设备适合无尘车间精密件外观复检工位，照射距离与亮度按平方反比关系随照射径变化，现场布置时应结合被测尺寸选定机型与照射距离，具体参数以正式规格书为准。
秋山工业 2026-10-29 | 阅读：17
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