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日本AYUMI ML-03M超高真空全金属角阀的特点：无橡胶密封与350℃烘烤耐受
超高真空系统对漏率与放气率有严格要求。橡胶密封件在高温烘烤过程中会老化并释放气体，是真空系统漏率的主要来源之一。AYUMI ML-03M采用全金属密封结构，彻底取消橡胶密封件，以OFC无氧铜垫片实现金属密封，漏率达到6.7×10⁻¹¹Pa·m³/s以下。
全金属结构使设备耐受温度大幅提升，支持350℃烘烤，使用温度范围0至300℃。本体与波纹管均采用SUS304不锈钢材质，适用于10⁻⁸Pa级别的超高真空系统。全开电导率8.5L/sec，密封扭矩仅5至7N·m，装配时无需大力拧紧即可保证密封性能。密封磁盘采用可更换设计，磁盘损耗后单独更换即可，降低了长期维护成本。
ICF34法兰接口适配标准超高真空管路。适用于半导体设备真空管路、镀膜设备、科研实验室真空腔体、材料热处理设备及航天真空模拟装置等对漏率和放气率有严格要求的应用场景。
秋山工业 2026-10-12 | 阅读：16
