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日酸TANAKA TORR-LAR 日本微压调节器 高纯气路稳压之选
针对半导体与电子特气供气管路中二次侧压力要求苛刻的工况，日酸TANAKA推出TORR-LAR系列超高纯气体用微压压力调节器。该系列接液部采用SUS316L材质，整机在千级洁净室内完成组装，并以氦质谱检漏逐台全检，将内漏与外漏均控制在极低水平。选型时应首先确认通路形式、接口规格与二次侧目标压力区间：TORR-LAR以微压减压规格为特长，可按具体气路与接口定制，公开资料不提供统一数值，具体参数以正式规格书为准。典型使用场景覆盖半导体气柜与设备配管、电子特种气体供气管路以及实验室高纯气路系统。安装阶段需关注一次侧压力波动对二次侧稳定性的传导，建议在前端设置适当的过滤与前置减压环节；日常维护以洁净吹扫与定期氦检漏为主。需特别说明，日酸TANAKA与大阳日酸为不同法人主体，采购与技术对接时应按日酸TANAKA品牌确认型号、接口与备件渠道，避免与同类名称厂商混淆。
秋山工业 2026-09-28 | 阅读：99
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