技术参数:

1)测试模式: MOS、Schottky

2)样品尺寸:直径≤200mm，非标样品或者碎片*小测试尺寸30mmX30mm

3)外延层载流子浓度测试范围:1E14-5E18cm-3

4)单点测试面积:0.018-0.027 cm2

5)汞接触面积重复性:1sigma<0.5%