注释

①每一层的载流子浓度和厚度无法直接测量。

②表面缺陷包含彗星缺陷、三角形缺陷、胡萝卜缺陷以及掉落物。

③表面粗糙度使用原子力显微镜进行测量，扫描尺寸为10x10 um2.

注:我司可根据客户定制参数更严格的外延片。