设备简介
此设备主要应用于显示行业对盒工艺中transfer设备。
设备特点
1.CCD 定位,定位精度±50um;
2.Vacuum 吸附自动微调机构;
3.Stage对位平台,R轴,旋转角度±3°;
4.XY 对位行程±12MM。