SAB9510-半自动 超原子束TRIM机
报价:面议
品牌: 青禾晶元
产地: 天津
关注度: 1271
型号: SAB9510-半自动 超原子束TRIM机
标签

半导体行业专用仪器

SAB9510-半自动 超原子束TRIM机

国产半导体行业专用仪器

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产品介绍

SAB9510是一款全自动的超原子束表面TRIM机,可通过Cassette自动上下料,适用于半导体薄膜超精密TRIM批量化生产。

  • 项目

    指标

  • 晶圆尺寸

    4-12寸

  • 上料模式

    Cassette自动上下料

  • 晶圆校准

    Aligner

  • 去除效率

    800 Å*cm²/s @Si

  • 支持工艺气体

    NF3/Ar/SF6/O2/He或其他混合气体

  • 束流强度

    >100μA @Ar

  • 束斑尺寸

    半高宽<5mm

  • 离子能量

    60kev


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产品小贴士

SAB9510-半自动 超原子束TRIM机由青禾晶元半导体科技(集团)有限责任公司提供,产地为天津,属于国产半导体行业专用仪器,符合多项国家和国际标准,广泛应用于石油/化工、综合其他等领域,SAB9510-半自动 超原子束TRIM机凭借其创新性与实用性,在半导体行业专用仪器用户中获得广泛关注。

据中国粉体网显示:该产品已通过粉体网认证,在产品性能、服务能力等维度表现优异,用户平均评分达9.5(满分 10 分)。

根据官方产品资料显示:SAB9510-半自动 超原子束TRIM机的品牌为青禾晶元。

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官方链接:
https://m.cnpowder.com.cn/ns35479/productsdetail_372362.html
来源:青禾晶元半导体科技(集团)有限责任公司
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工商信息
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青禾晶元半导体科技(集团)有限责任公司

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91110113MA01TETA0G

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