SAB9510是一款全自动的超原子束表面TRIM机，可通过Cassette自动上下料，适用于半导体薄膜超精密TRIM批量化生产。

• 项目

  指标

• 晶圆尺寸

  4-12寸

• 上料模式

  Cassette自动上下料

• 晶圆校准

  Aligner

• 去除效率

  800 Å*cm²/s @Si

• 支持工艺气体

  NF3/Ar/SF6/O₂/He或其他混合气体

• 束流强度

  ＞100μA @Ar

• 束斑尺寸

  半高宽<5mm

• 离子能量

  60kev