SAB9510-半自动 超原子束TRIM机
报价:面议
品牌: 青禾晶元
产地: 天津
关注度: 62
型号: SAB9510-半自动 超原子束TRIM机
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产品介绍

SAB9510是一款全自动的超原子束表面TRIM机,可通过Cassette自动上下料,适用于半导体薄膜超精密TRIM批量化生产。

  • 项目

    指标

  • 晶圆尺寸

    4-12寸

  • 上料模式

    Cassette自动上下料

  • 晶圆校准

    Aligner

  • 去除效率

    800 Å*cm²/s @Si

  • 支持工艺气体

    NF3/Ar/SF6/O2/He或其他混合气体

  • 束流强度

    >100μA @Ar

  • 束斑尺寸

    半高宽<5mm

  • 离子能量

    60kev


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企业名称

青禾晶元半导体科技(集团)有限责任公司

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91110113MA01TETA0G

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