SAB9500是一款半自动的超原子束抛光机，可利用超原子束对2-12寸晶圆或不规则样品进行超精密表面抛光，可加工材料包括Si、SiC、InP、GaAs、GaN、金刚石、LN、LT、光学晶体等。

2-12寸及不规则样品兼容晶圆尺寸

• 项目

  指标

• 晶圆尺寸

  2-12寸及不规则样品

• 上料模式

  手动上下料

• 传输系统

  手动/定制工装

• 去除效率

  60keV：800 Å*cm²/s@SiO₂
  20keV ：40 Å*cm²/s@SiO₂

• 支持工艺气体

  Ar/SF6/O₂/He或其他混合气体

• 束流强度

  ＞100μA @Ar

• 束斑尺寸

  半高宽<10mm