典型加工零件

主要特点

1、磨轮采用12寸国家标准金刚石专用砂轮，磨轮的粒度的选型是根据客户对工艺的要求定制;减薄单元采用轴向进给(In-Feed)磨削原理，兼容中300~50mm晶圆研削减薄加工。

2、设备具有多段磨削程序、超负载等待等功能，满足各类工艺需求。

3、磨轮主轴采用高精密气浮专用电主轴，通过变频器受数控系统控制进行调速，可以根据不同产品决定工艺转速。

4、为了实现高精度、高品质的加工，搭载了高刚性、低振动、低热膨胀的气浮主轴。工作台的主轴亦同样搭载高刚性、低振动、低热膨胀的空气轴承部件。

5、采用高精密丝杆及导轨组件，驱动方式是伺服全闭环控制系统驱动。

主要技术参数