加工能力

(**工件尺寸)

**尺寸1300mmmm×1300mmmm

**厚度300mm，**重量700kg

可加工面形

平面、球面、非球面、离轴非球面及自由曲面等

可加工材料

石英、微晶、ULE、蓝宝石、单晶硅、碳化硅等

可加工精度

X轴行程

≥1350mm

Y轴行程

≥1350mm

Z轴行程

≥300mm

离子源

德国射频离子源

中和器

德国

工作真空建立时间

≤2小时

副室真空建立时间

≤15分钟

保护功能

具限位防护、工件防护、Y轴同步保护、紧急停止、电气安全保护、真空系统安全保护、离子束抛光工艺安全保护等

智能功能

具备智能一键开机、一键停机、定时开机、定时停机、预约加工、加工保护、远程协助、日志等高级功能

外形尺寸

6.2m×4.0m×2.69m

整机重量

15吨

能耗功率

总功率23kW