加工能力

(**工件尺寸)

**尺寸1500mmx1500mm

**厚度500mm

可加工面形

平面、球面、非球面、自由曲面、抛物面等

可加工材料

石英、微晶、ULE、蓝宝石、单晶硅、碳化硅等

可加工精度

亚纳米加工精度、可实现面形RMS<1nm超高精度加工

X轴行程

≥1600mm

Y轴行程

≥1600mm

Z轴行程

≥300mm

离子源

德国射频离子源

中和器

德国

工作真空建立时间

≤1小时

副室真空建立时间

≤15分钟

保护功能

具备意外断电、断水、断气等故障报警保护、运动系统故保护、离子源故障保护等

智能功能

具备智能一键开机、一键停机、定时预约加工、远程控制、日志等功能

外形尺寸

6.4m×3.8m×3.3m

整机重量

16吨

能耗功率

总功率35kW