l 可量测多种材料薄膜

l 提供薄膜可靠和精确的厚度、折射率、成分比率和应力测量

l 输出产能高，具有较高的性价比

l 光斑尺寸更小

l 可量测范围更宽广，超厚膜和超薄膜量测能力更稳定

l 全新椭圆偏振光路设计

l 机械运动性能可靠，稳定性表现**

l 功能丰富、易用的软件和算法

l 全面支持工厂自动化要求