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光学缺陷检测设备——WSD系列
报价:面议
品牌: 睿励科学
产地: 上海
关注度: 164
型号: 光学缺陷检测设备——WSD系列
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产品介绍

WSD系列产品是睿励科学仪器(上海)有限公司自主研发、生产的全自动晶圆外观缺陷检测设备。

设备的基本检测原理是利用光学系统成像、通过图像分析的方式来捕抓并分类各种晶圆表面的缺陷。

该系列产品包括WSD200、WSD300、WSD220、WSD320等多型号产品,

适用于集成电路制造、化合物半导体等领域。


主要特点:

l 支持6/8/12吋wafer

l 可定制化兼容Frame产品

l 支持透明/非透明衬底片检测

l 可检测缺陷类型:颗粒、污染、图形缺少、划伤、图形黏连、残留等

l 具备晶圆全表面检测、自动缺陷检测分类以及高分辨率的缺陷复查功能


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睿励科学仪器(上海)有限公司为您提供睿励科学光学缺陷检测设备——WSD系列,光学缺陷检测设备——WSD系列产地为上海,属于测量/计量仪器,除了光学缺陷检测设备——WSD系列的参数、价格、型号、原理等信息外,还可为您提供TFX4000OCD——光学关键尺寸量测、TFX3000P--薄膜厚度测量设备、TFX4000i--薄膜厚度测量设备。
工商信息
企业名称

睿励科学仪器(上海)有限公司

企业类型

信用代码

91310000774781787F

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