WSD系列产品是睿励科学仪器(上海)有限公司自主研发、生产的全自动晶圆外观缺陷检测设备。

设备的基本检测原理是利用光学系统成像、通过图像分析的方式来捕抓并分类各种晶圆表面的缺陷。

该系列产品包括WSD200、WSD300、WSD220、WSD320等多型号产品，

适用于集成电路制造、化合物半导体等领域。

主要特点：

l 支持6/8/12吋wafer

l 可定制化兼容Frame产品

l 支持透明/非透明衬底片检测

l 可检测缺陷类型:颗粒、污染、图形缺少、划伤、图形黏连、残留等

l 具备晶圆全表面检测、自动缺陷检测分类以及高分辨率的缺陷复查功能