明场光学缺陷检测设备——BriteSD 300

BriteSD系列是睿励科学仪器(上海)有限公司在2023年**推出的明场光学图形晶圆缺陷检测设备。

该系列适用于集成电路制造、化合物半导体等领域的缺陷检测，

可检测缺陷类型:颗粒、污染、图形缺少、划伤、图形黏连、残留等，具备晶圆全表面检测、

自动缺陷分类以及高分辨率的缺陷复查功能，运用睿励自主开发的先进光学系统和多种独特的算法

，可以应用于检测更小的缺陷。

主要特点：

l 支持8/12吋wafer

l 明场检测

l 支持硅片、SiC片检测

l 支持Auto Review 功能

l 可多组倍镜切换:1X、2X、5X、20X、50X