 中微力合 |
参考报价：电议 型号：蜂窝垫
产地：广东 在线咨询
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主要优点在于孔深度比目前市面上的要深，故使用寿命长。孔间距跟孔大小比例优化**，配上我司自主研发的聚晶金刚石液磨削效率极高。
产品可以定制化，**一整张可以做到1300mm。产品不属于危险品，无需特殊包装，运输途中勿弯折即可。
本蜂窝垫主要用于半导体晶圆片，如：蓝宝石、碳化硅晶圆及所有超硬脆材料的超精细研磨。
片材冲切，蜂窝网格槽结构均匀；
背胶耐高温，粘性强，换盘不易残胶，表面平整；
研磨精度高；
肓孔深度深，使用寿命长；
孔间距大小比例优化**，配上我司自主研发的聚晶金刚石液磨削效果**；
可替代铜盘工艺，节能、环保、无污染。
材料去除率
金刚石液D50碳化硅
晶圆蓝宝石
C向氧化锆
陶瓷氧化铝
陶瓷氮化铝
陶瓷氧化硅 ZW-301(3μm) 2 2.5 3.5 4 3 3 ZW-302(2μm) 1.5 1.6 3 3 2.5 2.3 ZW-303(1.5μm) 1 1.2 2 2.5 2 1.5 ZW-401(1μm) 0.8 1 1.2 ZW-501(0.5μm) 0.4 0.5 0.8 ZW-601(0.2μm) 0.2 0.3 ZW-40 2.5
