东莞市中微力合半导体科技有限公司
  • 中微力合
    参考报价:电议
    型号:人造金刚石
    产地:广东
    在线咨询
  • 详细介绍:


    产品概述

    按照金刚石的种类区分:
    人造金刚石大致可以分为单晶金刚石、聚晶金刚石和纳米金刚石,因此金刚石研磨液也可以分为单晶金刚石研磨液、聚晶金刚石研磨液和纳米金刚石研磨液。

    按照分散介质区分:
    广泛使用的金刚石研磨液的分散介质有以下三种:水性分散介质、油性分散介质和通用型介质(乳液型介质)。使用时应当根据具体的使用条件来选择合适的研磨液。

    应用领域

    配合蜂窝垫使用,应用于碳化硅晶圆、蓝宝石、氧化锆、氧化铝、氮化铝陶瓷基板等硬脆材料超表面精细研磨。

    产品特点

    • 磨料类型多样化,可根据加工材料工艺要求选择合适粒度规格;

    • 载体类型选择多,包含水性、油性及乳化型;

    • 不同应用环境下粘度可调整,包含低粘度、中等粘度和高粘度;

    产品规格及验证参数

     材料去除率
    金刚石液D50
    碳化硅
    晶圆
    蓝宝石
    C向
    氧化锆
    陶瓷
    氧化铝
    陶瓷
    氮化铝
    陶瓷
    氧化硅
    ZW-301(3μm)22.53.5433
    ZW-302(2μm)1.51.6332.52.3
    ZW-303(1.5μm)11.222.521.5
    ZW-401(1μm)0.811.2


    ZW-501(0.5μm)0.40.50.8


    ZW-601(0.2μm)0.20.3



    ZW-40




    2.5
    不同型号磨液对应不同加工材料去除率;单位:μm/min (数据来源:中微实验室)