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碳化硅陶瓷载盘
报价:面议
品牌: 晶沐光电
产地: 江苏
关注度: 212
型号: 碳化硅陶瓷载盘
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产品介绍

碳化硅陶瓷载盘

厚度

0.75mm

直径

156mm

气孔径

<5 μm

双面平面度

≤15 μm

TTV

≤3 μm,5点量测

平行度

≤15 μm

翘曲度要求

90℃- 250℃ 宏观目视不翘曲变形

密度

1.8~2.4 g/cm3

气孔率

30%-50%

抗折强度

≤65 Mpa

热膨胀系数

7.5 (10-6/℃)

透气性要求

空吸:真空度≥ -30 Kpa
放置Wafer 在 SIC载盘上:真空度 ≤-60 Kpa

外观

1.全周去毛边,锐角倒钝
2.无缺角
3.刮伤:W≤0.03mm&L≤3mm,N≤2


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江阴晶沐光电新材料有限公司为您提供晶沐光电碳化硅陶瓷载盘,碳化硅陶瓷载盘产地为江苏,属于碳化硅粉,除了碳化硅陶瓷载盘的参数、价格、型号、原理等信息外,还可为您提供碳化硅外延P-Type、金刚石多晶、石英载盘基板JSG2。
工商信息
企业名称

江阴晶沐光电新材料有限公司

企业类型

信用代码

91320281MA1P72BM5H

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